功率器件中后段制程

晶圆背面 「超薄化/金属化」 专业代工

关于我们

本公司定位为功率类器件的中后段晶圆代工项目

从2011年起从事晶圆中后段关键制程服务,团队本身拥有将 8 英寸大硅片薄化至 50μm,且维持高良率的能力,
已在台湾地区实现产业化,并且代工业务量位居第一大。
相关工艺已在 4 英寸、5 英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸晶圆量产应用,代工业务量目前位居全球前三。

领先技术

本公司掌握三项领先技术,会是新一代功率半导体低耗电的关键技术

超薄

实现 8 英寸晶圆薄化至 50μm、12 英寸晶圆薄化至 100μm 的生产能力。

高良率

本团队目前可将 8 英寸大硅片薄化至 50μm,已量产且良率超过 98%。

非太古制程

太古制程设备超级昂贵;
同时会有边缘产品损耗的问题。

服务项目

工程师团队背景多元化,成员来自前段晶圆代工厂、晶圆薄化专家、后段封装厂,熟悉前中后段之制程整合及分析,能协助客户快速开发、解决问题、稳定量产。

研磨薄化

实现 8 英寸晶圆薄化至 50μm、12 英寸晶圆薄化至 100μm 的生产能力。

金属蒸镀沉积

提供复合金属组合,金属厚度可达 35µm,厚度均匀性:±10%。

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